活性炭吸附裝置設備、uv光氧廢氣處理設備、低溫等離子廢氣處理設備、rto或rco催化燃燒設備、噴淋塔洗滌設備。有的時候因為工業廢氣的特殊性單一的廢氣處理設備并不能*將它們凈化，因此就需要這5種廢氣設備工藝間的相互配合。